万象城AWC

  1. 半导体装备

    功率半导体

      采用IGBT及Super Junction等结构制造的功率器件,具有高速、低损耗的特点,在风电、光伏、智能电网、有轨交通、汽车电子等新兴产业上得到广泛应用。   

      在功率半导体领域,万象城AWC自主研发的刻蚀机、物理气相沉积设备、立式炉设备、清洗机、单/ 多片式硅外延设备以及卧式氧化/ 扩散炉已获得多家功率器件客户的认可和批量采购。

    • 等离子刻蚀设备
    • 物理气相沉积设备
    • 化学气相沉积设备
    • 氧化扩散设备
    • 湿法设备
    • 气体测量控制
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